エネルギー分散・波長分散・蛍光X線
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波長分散型EPMA
(JCMA-733)







＜主な分析＞　　　　　　　　　
微小領域の定量分析
定性分析による同定　など
走査型電子顕微鏡
エネルギー分散型EPMA

SEM: JSM-5310
EDS: Oxford Energy 200




＜主な分析＞　　　　　　　　　
電子像の観察
定性分析による同定
半定量分析　など

分析機器の紹介1